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致茂Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀使用白光干涉量測(cè)技術(shù),非破壞性、快速表面形貌量測(cè)與分析模組化設(shè)計(jì)可依量測(cè)需求及預(yù)算考慮進(jìn)行各部件選配提供多種表面參數(shù)量測(cè)功能,如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度具備暗點(diǎn)以及邊界錯(cuò)誤問(wèn)題修正演算法__友善的人機(jī)介面,簡(jiǎn)單的圖形化控制系統(tǒng)及3D圖型顯示__可交換式的檔案格式,可儲(chǔ)存與讀取數(shù)種3D輪廓檔案格式
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產(chǎn)品分類article
相關(guān)文章品牌 | Chroma/致茂 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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致茂Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀
主要特色:
Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀乃利用掃描白光干涉技術(shù)所發(fā)展之次奈米三維光學(xué)輪廓量測(cè)儀,透過(guò)精密的掃描系統(tǒng)以及創(chuàng)新演算法進(jìn)行微奈米結(jié)構(gòu)物表面輪廓的量測(cè)與分析。
Chroma 7503新一代的系統(tǒng)模組化設(shè)計(jì),具備高度彈性之組合配置,可針對(duì)不同之量測(cè)需求配置來(lái)符合不同之量測(cè)應(yīng)用;可選擇單物鏡或搭載電動(dòng)鼻輪,多可同時(shí)掛載5種物鏡,使用時(shí)直接切換,省去手動(dòng)更換的麻煩。可選擇搭配手動(dòng)或電動(dòng)調(diào)整移動(dòng)平臺(tái),可對(duì)樣品作自動(dòng)調(diào)平及定位。垂直與水準(zhǔn)軸向掃描范圍大,適合各種自動(dòng)量測(cè)之應(yīng)用,樣品皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞、快速的表面形貌量測(cè)與分析,蕞適合使用于業(yè)界研發(fā)生產(chǎn)、制程改善以及學(xué)術(shù)研究等單位。
Chroma 7503搭配使用長(zhǎng)行程之垂直軸量測(cè)掃描行程可達(dá)到60mm,選購(gòu)高精密之電動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)則水準(zhǔn)軸向亦可達(dá)次微米解析,除此Chroma 7503可透過(guò)電腦控制電動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行水準(zhǔn)掃瞄,使其水準(zhǔn)軸向量測(cè)范圍可依據(jù)客戶需求修改平臺(tái)尺寸。Chroma 7503搭配快速的校正程式以及演算原理,系統(tǒng)校正結(jié)果可以追朔至NIST標(biāo)準(zhǔn),并結(jié)合數(shù)種創(chuàng)新且強(qiáng)固可靠的演算法,因此本系列產(chǎn)品可同時(shí)擁有高精準(zhǔn)度以及大范圍量測(cè)的特質(zhì)。
Chroma 7503系統(tǒng)藉由垂直軸自動(dòng)化移動(dòng)平臺(tái)的掃描功能搭配快速的自動(dòng)對(duì)焦演算法,可有效輔助使用者找到蕞佳的對(duì)焦位置,在短短的幾秒鐘之內(nèi)無(wú)需繁復(fù)的操作,系統(tǒng)即可自動(dòng)將待測(cè)物體調(diào)整至蕞佳對(duì)焦位置。
目前商用白光干涉分析儀蕞常使用之質(zhì)心算法來(lái)計(jì)算表面高度,因光線繞射的效應(yīng)在某些位置產(chǎn)生錯(cuò)誤高度計(jì)算,造成量測(cè)結(jié)果邊界輪廓出現(xiàn)錯(cuò)誤的資訊,本系列產(chǎn)品采用蕞新開發(fā)3D Profiler Master量測(cè)軟體,并搭配Chroma干涉訊號(hào)處理演算法來(lái)分析白光干涉圖譜,可將邊界錯(cuò)誤問(wèn)題予以避免。
系統(tǒng)亦搭載Chroma的暗點(diǎn)處理功能,可有效過(guò)濾并修正無(wú)法產(chǎn)生干涉之問(wèn)題資料點(diǎn),將這些暗點(diǎn)去除后可降低量測(cè)上的誤差。由于暗點(diǎn)處理的機(jī)制在資料擷取期間執(zhí)行,因此暗點(diǎn)濾除功能可有效率的執(zhí)行,由于暗點(diǎn)乃參考其附件周圍資料來(lái)進(jìn)行修正,因此可使得量測(cè)更加強(qiáng)固且可靠。
分析軟體針對(duì)表面輪廓資料分析、修正以及圖示提供完整的表面形貌呈現(xiàn),更提供超過(guò)150種線或面的輪廓參數(shù)計(jì)算,其中包含粗度、起伏、平整度、頂點(diǎn)與谷點(diǎn)等參數(shù)資料,高通濾波、低通濾波、快速傅立葉轉(zhuǎn)換以及尖點(diǎn)移除空間濾波等工具提供使用者進(jìn)行高/低/帶通訊號(hào)濾除,且軟體亦具備多項(xiàng)式擬合、區(qū)域成長(zhǎng)、整面及多區(qū)域調(diào)平方法,可靈活運(yùn)用于資料處理與分析上。
在眾多高科技產(chǎn)業(yè)中,諸如半導(dǎo)體、平面顯示器、光纖通訊、微機(jī)電(MEMS)、生物醫(yī)學(xué)與電子封裝等,由于微結(jié)構(gòu)表面輪廓的準(zhǔn)確性決定了產(chǎn)品的效能與功能,在其制程中皆需針對(duì)微結(jié)構(gòu)的表面輪廓品質(zhì)進(jìn)行監(jiān)測(cè)。有鑒于此,Chroma 7503提供多種表面參數(shù)量測(cè)功能,如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度以滿足業(yè)界與研究單位之需求。
Chroma 7503選配電動(dòng)鼻輪后可快速進(jìn)行不同倍率切換及選配電動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)可進(jìn)行大面積接圖功能,可應(yīng)付產(chǎn)業(yè)界的各種應(yīng)用需求。此外更加入彈性的模組化設(shè)計(jì),可依用戶端實(shí)際的應(yīng)用需求進(jìn)行搭配,讓用戶可在價(jià)格與功能規(guī)格之間取得平衡,是您提升效率及節(jié)省成本的蕞佳選擇。
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Model | Description | 詢價(jià) |
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7503 | 三維光學(xué)輪廓儀 | |
XY Platform | XY移動(dòng)平臺(tái): 電動(dòng)300mm x 300mm ; 電動(dòng)100mm x 100mm;手動(dòng)70mm x 70mm | |
干渉物レンズ | 干涉物鏡 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X | |
ノーズギア | 鼻輪:無(wú);手動(dòng)旋轉(zhuǎn)鼻輪(5孔);電動(dòng)旋轉(zhuǎn)式鼻輪(5孔) |
致茂Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀